BenchMark 250 主要技術(shù)參數(shù) |
XY 精度:E2=(1.8+6L/1000)微米 (E2=(1.0+6L/1000)微米 需高分辨率光柵尺)
Z 精度:E1=(2.0+5L/1000)微米 (E1=(1.2+5L/1000)微米 TTL激光和5倍鏡頭)
| 英制單位 | 公制單位 | ||||||
測量范圍 | 12" X6"X6" | 300X150x150毫米 | ||||||
尺寸 | 28.3" X30.5"X38.3" | 720X775X873毫米 | ||||||
負(fù)載 | 25kg | |||||||
臺(tái)面分辨率 | 0.5um | |||||||
光學(xué) | 雙重放大 (物鏡) | |||||||
| 低倍 | 0.8 | 1.0 | 2.5 | 5.0 | 10.0 | 25.0 |
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| 高倍 | 3.2 | 4.0 | 10.0 | 20.0 | 40.0 | 100.0 |
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標(biāo)配鏡頭 | 1X | |||||||
可選鏡頭 | 0.8X,2.5X,5X | |||||||
照明 | LED 背光,LED 同軸面光 | |||||||
可選特征 | 多色可編程環(huán)形光 (PRL) | |||||||
| Ronchi 柵格自動(dòng)聚焦 | |||||||
| TTL 激光 |
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| 旋轉(zhuǎn)分度工作臺(tái) | |||||||
BenchMark 250 是一款應(yīng)用廣泛的量測系統(tǒng)，擁有測量大模型所有尺寸的性能，行程300X150X150 mm。Benchmark可測產(chǎn)品范圍大，可用于Q/A lab檢測。
Benchmark 250 擁有高精度X-Y 工作臺(tái)，view特有的雙重光學(xué)放大性能，安裝可選激光傳感器使其成為一款更完美的測量系統(tǒng)。
Benchmark 250 非常適合測量多種類型的產(chǎn)品部件，包括注塑部件、機(jī)械部件、電子元件組裝、半導(dǎo)體封裝、光纖器件或150mm 以內(nèi)的晶圓產(chǎn)品。
